在保留XGT-1000WRX射线荧光光谱仪优点的基础上，Horiba又推出专用于微区分析的X荧光分析仪。XGT-5000WR/5700WR采用Horiba专利技术，可将X射线聚集成全世界小的10µm射线束，点分析的强度相当于SEM-EDX，是同类产品的20倍。不但可以对样品的表面进行形貌扫描，也可对样品的内部结构透视扫描，甚至还可以实现元素扫描。

该X射线荧光光谱仪体现了划时代的显微技术与功能强大的元素分析和结构分析技术的完美结合，目前已经在全球电子企业中取得了骄人业绩。

X射线荧光光谱仪技术参数：
★   10μm的世界分辨率分析
★   样品尺寸350mm×400mm×40mm
★   可以进行光学扫描分析
★   可以进行元素扫描分析
★   可以进行结构透视分析
★   多可99个点的多点分析 
★   可以进行线性分析
★   数据可轻松导出