仪器介绍: 
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相位相干算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

MMD-220A型轮廓仪通用型 
常规参数:圆弧处理（半径、圆心距等）、点线处理、角度处理、直线度、
凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 

导轨直线性：≤0.2чm/100mm
示值误差：0.6%-0.15%±2чm
Z量程：10mm
Z向分辩率/量程:1/65536
X向量程：≤220mm
X向光栅分辩率：1чm
附件：调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头

MMD-100B 型 轮廓仪 高精度型 
常规参数:圆弧处理（半径、圆心距等）、点线处理、角度处理、直线度、
凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标
导轨直线性：≤0.2чm/80mm 

示值误差：0.8%-0.1%±2чm
Z量程：10mm
Z向分辩率/量程:1/65536
X向量程：≤100mm
X向光栅分辩率：1чm英国
附件：调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头

MMD-220B 型 轮廓仪 高精度型 
常规参数:圆弧处理（半径、圆心距等）、点线处理、角度处理、直线度、
凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 

导轨直线性：≤0.15чm/100mm
示值误差：0.5%-0.1%±1чm
Z量程：10mm
Z向分辩率/量程:1/65536
X向量程：≤220mm
X向光栅分辩率：0.05чm英国
附件：调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头