产品介绍
便携式轮廓仪、粗糙度轮廓仪、轮廓仪
价 格:¥面议
型 号:
产品完善度:
生产地:其他访问量:230次
发布日期:2009/11/2 0:00:00
更新日期:1900/1/1 0:00:00
详细内容
技术参数:
(1) 类型: CCI 干涉(相位相干干涉)
(2) 测量量程: 100 um (可选400um)
(3) 分辨率: 0.1 A—在100微米量程范围内
(4) RMS重复性: 0.03A ( 3pm )
(5)垂直扫描速度: 7 um/s
(6) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
(7) X Y 轴测量范围: 0.36 – 7.2 mm
(8) X Y 轴分辨率: 0.36um
(9) 台阶高度的重复性: 0.1 nm (25nm)
(10) Z 轴的线性度: 0.03% 的测量值
(11)系统噪音: 0.5A
--------------------------------------------------------------------------------
主要特点:
1.专利的相位相关相干算法
2.0.1nm分辨率
3.10-20秒测量时间
4.RMS重复性:0.03A
--------------------------------------------------------------------------------
PGI1250表面轮廓及非球面测量系统 :
。高精度测量系统
。选择不同型号,适合一般应用,轴承或光学非球面测量
。可提供12.5mm测量范围,分辨率高达0.8nm
。强大的2D或3D多种软件
其中非球面系统功能为:
1、可完成非球面形状参数和粗糙度参数分析,进行实际形状与理论形状比较分析
2、SAG表格:可按光学软件格式,输出整个面形各点的矢量高和斜率对应表
3、完成未知非球面的逆向工程
4、不受非球面角度影响,可测量到90度角
(1) 类型: CCI 干涉(相位相干干涉)
(2) 测量量程: 100 um (可选400um)
(3) 分辨率: 0.1 A—在100微米量程范围内
(4) RMS重复性: 0.03A ( 3pm )
(5)垂直扫描速度: 7 um/s
(6) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
(7) X Y 轴测量范围: 0.36 – 7.2 mm
(8) X Y 轴分辨率: 0.36um
(9) 台阶高度的重复性: 0.1 nm (25nm)
(10) Z 轴的线性度: 0.03% 的测量值
(11)系统噪音: 0.5A
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主要特点:
1.专利的相位相关相干算法
2.0.1nm分辨率
3.10-20秒测量时间
4.RMS重复性:0.03A
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PGI1250表面轮廓及非球面测量系统 :
。高精度测量系统
。选择不同型号,适合一般应用,轴承或光学非球面测量
。可提供12.5mm测量范围,分辨率高达0.8nm
。强大的2D或3D多种软件
其中非球面系统功能为:
1、可完成非球面形状参数和粗糙度参数分析,进行实际形状与理论形状比较分析
2、SAG表格:可按光学软件格式,输出整个面形各点的矢量高和斜率对应表
3、完成未知非球面的逆向工程
4、不受非球面角度影响,可测量到90度角