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深圳市中图仪器股份有限公司

产品介绍

非接触三维表面轮廓测量仪

价 格:¥电议品 牌: 中图仪器(进口品牌)

型 号:VX3000

产品完善度:

生产地:其他访问量:0次

发布日期:2022/6/17 9:49:49

更新日期:2023/6/1 15:50:08

详细内容

 中图仪器SuperViewW1非接触三维表面轮廓测量仪基于白光干涉原理,不仅用于零件的检测,还是种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备,能完成缺陷尺寸的在线检测。

 

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产品功能
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供键分析和多文件分析等辅助分析功能。

 

SuperViewW1非接触三维表面轮廓测量仪测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测,具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。它特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等域中。

 

技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,键分析、测量速度快
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

 

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SuperViewW1非接触三维表面轮廓测量仪是以白光干涉技术为原理,获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。

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