美国纳米级激光三角反射位移传感器

NanoGage 100纳米级激光三角反射位移传感器：
传感器结构：传感器头：直径15.7mm，安装面处直径12.7mm，长58.7mm；电缆长460mm；

控制器尺寸98x32x13mm，输出9针插座。

特点：－高分辨率，可替代电容式传感器；－对电磁场不敏感，可用于电机等强磁场测振；

－宽频带，可测高频振动体；－对被测体表面要求低，反射率4～100％均能用；

指标：

量程：100µm；量程间距3mm；分辨率：15nm；重复性：±75nm；没修正线性误差：±5µm；

带宽：100KHZ；供电：±12VDC