测量小值：≤1nm；
镀膜折射率范围：1.3 ~ 2.49
入射角：40°～90°　　误差≤0.05°；
偏振器方位角范围：0°～180°；
偏振器步进角：0.0375°/步；
仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm；
光学中心高度：75㎜；
允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；
外形尺寸：730 x230X 290；
主机重量：30kg；
本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看左图。
1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。

2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。

3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。

4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。