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科睿技术发展有限公司

产品介绍

三维非接触轮廓仪(3D Profiling)

价 格:¥电议

型 号:

产品完善度:

生产地:其他访问量:244次

发布日期:2009/11/2 0:00:00

更新日期:1900/1/1 0:00:00

详细内容

仪器特点
1. 快速非接触技术;
2. 经济的设计;
3. 不需要样品准备;
4. 高Z轴动态范围(27毫米);
5. 高Z轴分辨率(小2纳米);
6. 粗糙或抛光表面均可测量;
7. 透明或不透明物体均可测量;
8. 大范围材料种类均可测量(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
9. 大尺寸样品、旋转样品台及其他客户要求选配;
 
仪器介绍
我司代理的非接触轮廓仪使用白光及独特的彩色象差技术,粗糙度测量远优于激光技术,采样速度可达4000Hz,27毫米的Z轴动态范围确保给出测试样品的完美三维图像。彩色象差技术的优势还体现在高倾斜角度及低反射率的表面测量,因此与普通的白光干涉技术相比该仪器应用范围很广。
与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度、选择探针等)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等)。
 
仪器规格
X & Y马达平台工作范围
150毫米(其他尺寸可按要求定做)
Z轴范围
20毫米(内置手动千分尺调节工作距离,马达自动调节选配)
数据采集速度
30,000数据点/秒
X,Y轴向速度
20毫米/秒
 
测量范围
工作距离(mm)
轴向分辨率,精度(nm)
斑点直径(µm)
横向分辨率(µm)
倾斜角度**
小测量厚度(µm)
20µm
0.37
2, 10
3
1.5
48°
12
130µm
3.3
5, 20*
2*
1.1*
43°
7*
300µm
5.68
10, 90
7.4
3.7
25°
25
350µm
12.7
10, 60
7
3.5
27°
25
400µm
11
12, 60
2.6*
1.3*
28°
15*
1mm
23.9
30, 300
14 6
6
24°
23
1.2mm
12.7
25, 200
4
2
27°
25
3mm
26.9
100, 600
25
12.5
12°
220
3.5mm
16.4
75, 400
8
4
22°
60
10mm
66.9
300, 900
51
25.5
12°
425
12mm
29
280, 900
16
8
14°
200
24mm
222.3
1500, 3000
100
50
1570
27mm
19.6
600, 3000*
16
8
8.6°
590
2 - 100µm
(干涉测量法)
42
10, 100
20
10
7
2
  *理论数据    **倾斜角度可达到80°
 
仪器部分三维图像或数据
 
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   左图)
一角硬币三维形貌        
       
 
   右图)
纸的三维形貌
 
 
 
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      上图) 不锈钢粗糙度                             上图) 陶瓷表面形貌

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