薄膜厚度范围：1纳米 – 8 微米； 
厚度分辨率为0.1纳米；
测量速度： 5 – 15秒；
重现性： cos(Delta) ±0.0003, tan(Psi) ± 0.0002 (Si上70纳米SiO2)；
光谱范围： 450纳米 – 900纳米(其他波长范围可以选配)；
角度： 70° (其他角度可以选配)；
Mapping功能： 6”/12” 选配，准确度±10微米，光学编码全自动控制；
光学显微镜： 不同放大倍数选配；
软件： 一键厚度测量，易于使用，多等级用户管理，多种数学模型构建；

关于椭圆偏光法
椭圆偏光法是基于测量偏振光经过样品反射后振幅和相位的改变研究材料的性质。光谱型椭偏仪在全部光谱范围内(而不是特定的波长)测量Psi和Delta，通过构建物理模型对数据进行拟合分析，终得到膜厚、折光系数、吸收、粗糙度、组成比率等结果。