特性
◇洁净真空
由于无油、不会返流至泵内，因此可以得到洁净的真空。
◇低噪音、低振动
  涡线管优良的平衡性，降低了噪音和振动。
◇无需日常换油
  由于不使用泵油，大幅减少了日常保养。
◇无需冷却水
  由于是空冷构造，安装时真空泵只需接通电源就能工作，无需水冷管。
◇高效压缩的涡线管节省了能源和运转成本。
◇保养周期长
  为避免机械损耗，选用耐用材料，密封件确保能够连续运转。
应用
◇可用于半导体制造的负载锁定室
◇电子显微镜的前级泵
◇干式真空的前级泵
◇真空干燥、冷冻干燥系统
◇排气、真空注入系统
◇真空蒸溜、真空凝缩
◇测量器械
◇真空加固
◇真空涂层系统
◇电子杠杆工程、激光杠杆机