仪器光学系统品质优良，物镜成像清晰，放大倍率准确。在透射光照明下，轮廓测量误差小于0。08%;坐标测量示值误差可达（3+L/75)um L为被测长度(单位：mm)；仪器配有专用微型列印机和脚踏开关，数据输出和采样十分方便。