产品介绍
1200℃低真空CVD系统
价 格:¥电议
型 号:YHGS-120613
产品完善度:
生产地:其他访问量:20次
发布日期:2017/1/5 16:14:00
更新日期:2017/1/5 16:14:00
详细内容
炉体结构 | 整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构; 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 炉子底部装有一对滑轨,移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启,可以实时观察加热的物料 |
电源 | 电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW |
炉管 | 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小 尺寸:Φ60*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用 加热区长度:300mm 恒温区长度:150mm 工作温度:≤1150℃ 温度:1200℃ 升温速率:10℃/min |
温控系统 | 温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能 30段升降温程序 测温元件:N型热电偶 恒温精度:±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5% |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa 真空机械压力表+电阻真空计显示 可选高真空系统及真空计,压力控制系统等 |
可选配件 | 混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。 |