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上海煜志机电设备有限公司

产品介绍

1200℃低真空CVD系统

价 格:¥电议

型 号:YHGS-120613

产品完善度:

生产地:其他访问量:20次

发布日期:2017/1/5 16:14:00

更新日期:2017/1/5 16:14:00

详细内容

 主要技术参数:

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好

炉子底部装有一对滑轨,移动平稳

炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却

支撑两端安装油压缓冲器

炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小

尺寸:Φ60*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用

加热区长度:300mm

恒温区长度:150mm

工作温度:≤1150

温度:1200

升温速率:10/min

温控系统

温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能

30段升降温程序

测温元件:N型热电偶

恒温精度:±1℃

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格:0~1SLM

流量精度:±1.5%

真空系统

采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa 

真空机械压力表+电阻真空计显示

可选高真空系统及真空计,压力控制系统等

可选配件

混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。

 

 

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