等离子体辅助加工被用来制造特种优良性能的新材料、研制新的化学物质和化学过程，加工、改造和精制材料及其表面，具有极其广泛的工业应用－－从薄膜沉积、等离子体聚合、微电路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等离子体喷涂、等离子体冶金、等离子体化工、等离子体辅助加工目前已开辟的应用领域包括：
            CRF-PLASMA等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

LED封装工艺

  在 LED产 业 链 中 ,上 游 为 衬 底 晶 片 生产 ,中 游 为 芯 片 设 计 及 制 造 生产 ,下 游 为封装与测试。研发低热阻、优异光学特性、高 可 靠 的 封 装 技 术 是新 型 LED走 向 实 用 、走 向 市 场 的 必 经 之 路 ,从 某 种 意 义 上 讲 封装 是 连接 产 业 与 市 场 之 间 的 纽 带 ,只 有 封装 好 才 能 成 为 终 端 产 品 ,从 而 投入 实 际 应用 。LED封 装 技 术 大 都 是 在 分 立 器 件 封 装技 术 基 础 上 发 展 与 演 变 而 来 的 ,但 却 与 一般 分 立 器 件 不 同 ,它 具 有 很 强 的 特 殊 性 ,不 但完 成 输 出 电 信 号 、保 护 管 芯 正 常 工 作及 输 出 可 见 光 的 功 能 ,还 要 有电 参 数 及 光参 数 的 设 计 及 技 术 要 求 ,所 以 无 法 简 单 地将 分 立 器 件 的 封 装 用 于LED。经 过 多 年 来的 不 断 研 究 与 发 展 ,LED封 装 工 艺 也 发 生了 很 大 的 变 化 ,但 其 大 致 可 分 为 以 下 几 个个步骤。

芯 片 检 验  LED扩片 点 胶手 工 刺 片自 动 装 架 LED烧 结LED压 焊 LED封 胶 LED固 化 及 后 固 化切筋划片

测 试 包 装 

2.等离子清洗在LED封装工艺中的应用

  LED封装工艺直接影响LED产品的成品 率 ,而 封 装 工 艺 中 出 现 问 题 的 罪魁 祸 首99%来源于芯片与基板上的颗粒污染物、氧化 物 及 环 氧 树 脂 等 污 染 物 ,如 何 去 除 这 些污 染 物 一 直 是 人 们 关 注 的 问 题 ,等 离 子 清洗作为近几年发展起来的清洗工艺为这些问题提供了经济有效且无环境污染的解决 方 案 。针 对 这 些 不 同 污 染 物 并 根 据 基 板及 芯 片 材 料 的 不 同 ,采 用 不 同 的 清 洗 工 艺可 以 得 到 理 想 的 效 果 ,但 是 错 误 的 工 艺 使用 则 可 能 会 导 致 产 品 报 废 ,例 如 银 材 料 的芯片采用氧等离子工艺则会被氧化发黑甚至 报 废 。所 以 选 择 合 适 的 等 离 子 清 洗 工 艺在 LED封 装 中 是 非 常 重 要 的 ,而 熟 知 等 离子清洗原理更是重中之重。一般情况下,颗粒污染物及氧化物采用5％ H2+95%Ar的混合 气 体 进 行 等 离 子 清 洗 ,镀 金 材 料 芯 片 可以 采 用 氧 等 离 子 体 去 除 有 机 物 ,而 银 材 料芯 片 则 不 可 以 。选 择 合 适 的 等 离 子 清 洗 工艺在LED封装中的应用大致分为点 银 胶 前 ,引 线 键 合 前 ,LED封 胶 前。