用途

可用于半导体、电子原件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理；

可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理；

可用于连续性、多样性工作室的各种制造设备的低真空领域的过程管理。

 

特长

可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa

传感器与控制部一体化：节省空间、降低能耗

 

 

代理销售日本ULVAC爱发科真空泵及规管.

其中WP-01,WP- 02，真空计,GP1-1000G,GP-1GRY

 

ULVAC皮拉尼真空测定子WP-02用于低真空的测定，配合ULVAC GP-1G、GP-1GRY、GP-2A、GP-2ARY、GP-1000G真空计使用，真空测定范围为:0.4Pa-3x103Pa.

 

日本爱发科ULVAC真空计: GP-1000G; GP-1GRY; GP-1G; GP-2A;GP-2ARY

日本爱发科ULVAC规管: WP-01; WP-02;WP-03;WP-04;WP-05;WP-06;

日本爱发科ULVAC规管座（放大器）: GP-H