产品介绍
XPS-7半导体特气检漏仪XPS-7|日本新宇宙
价 格:¥电议
型 号:XPS-7半导体特气检漏仪XPS-7|日本新宇宙
产品完善度:
生产地:其他访问量:134次
发布日期:2010/6/29 15:55:27
更新日期:2012/1/4 10:49:53
详细内容
特 点:
¬ 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
¬ 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
¬ 大幅度削减成本和维护时间
规 格:
型 号 XPS-7
检测原理 定电位电解式
检测气体对象 半导体材料气体
指示范围 根据规格
分 辨 率 实现满量程的百分之一
指示精度 FS±10%以内
报警模式 2段报警方式
报警方式 蜂鸣器(间歇音)、报警灯闪烁
应答时间 60秒以内(60%应答)
电 源 5号碱性干电池4节或AC专用变压器
电池使用时间 连续12小时以上
外型尺寸 W762×H150×D128(除去突起物)
检测方式 泵吸式
使用温度范围 0℃~40℃
重 量 约1.3kg
附 件 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张
选 购 件 AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件
XPS-7检测气体一览表:
型号 气体 F.S 型号 气体 F.S
XPS-7NH NH3 100ppm XPS-7GH GeH4 1ppm
XPS-7SH SiH4 25ppm XPS-7CL CL2 5ppm
XPS-7DC SiH2CL2 25ppm XPS-7CF CLF3 1ppm
XPS-7AS AsH3 250ppm XPS-7HC HCL 25ppm
XPS-7PH PH3 1ppm XPS-7HF HF 10ppm
XPS-7BH B2H6 500ppm XPS-7HB HBr 10ppm
XPS-7SE H2Se 250ppm XPS-7NO NO 100ppm
XPS-7HS H2S 50ppm XPS-7F2 F2 5ppm
XPS-7CO CO 250ppm XPS-7OZ O3 1ppm
XPS-7DS Si2H6 25ppm