容积（工作容积）

50Hz310 m3h-1/185 ft3min-1

60Hz375 m3h-1/220 ft3min-1

使用后备泵时的有效抽取速度

E1M40 或 E2M40240 m3h-1/141 ft3min-1

E1M80 或 E2M80274 m3h-1/161 ft3min-1

泵的压差

50Hz0-180 mbar/0-140 Torr

60Hz0-150 mbar/0-115 Torr

入口连接ISO63

出口连接ISO40

转速 ?

50Hz0-2900 rpm

60Hz0-3500 rpm

连续入口操作压力0-1000 mbar/0-760 Torr

出口压力1000 mbar/760 Torr

推荐的后备泵GV80，E1M/E2M40，E1M/E2M80

电源电压，3 相

50Hz220 – 240V/380 – 415V

60Hz230V/460V

马达功率

碳氢化合物2.2kW/3hp

PFPE2.2kW/3hp

ATEX2.2kW

防爆型3 相

环境温度范围

操作5 至 40°C/40 至 104°F

存储-10 至 80°C/14 至 176°F

操作湿度90% RH

推荐用油

标准型Ultragrade 20

PFPE 版本Fomblin YVAC 16/6

油容量

联结器箱1.5 升/1.6 qt

轴杆封口储油器0.125 升

重量*69 kg/152 lb

 

 

 

应用

分析仪器

超高速离心机

覆层

脱气/硫化 - 油，环氧树脂

蒸馏/萃取/过滤

冷冻干燥

熔炉

气瓶充气/排空

凝胶体干燥

手套式操作箱，干燥炉

实验室工作台上真空

氦检漏仪

负载锁和传输腔

冷冻制造

研发

旋转离心蒸发器

电子扫描显微镜 - SEM

SEM/FIB（离子束维修）

溶剂回收

表面科学仪器

涡轮分子前级泵

 

 

功能和优势

 

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到。

轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。