EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

 

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

 

 

 

应用

 

半导体制程

真空蒸馏

真空包装

钢脱气

薄膜覆层

真空冶金

低密度风洞

空间模拟

真空浸渍

油干燥和脱气

制药冷冻干燥

CO2 激光

 

功能和优势

 

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到。

轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

 

 

技术数据：

容积（工作容积） 

50Hz2590 m3h-1/1525 ft3min-1

60Hz3110 m3h-1/1830 ft3min-1

使用后备泵时的有效抽取速度 

E2M1751750 m3h-1/1031 ft3min-1

E2M2751900 m3h-1/1119 ft3min-1

泵的压差 ? 

50Hz0-120 mbar/0-90 Torr

60Hz0-67 mbar/0-50 Torr

入口连接ISO160

出口连接ISO100

转速 

50Hz0-2900 rpm

60Hz0-3500 rpm

连续入口操作压力0-1000 mbar/0-760 Torr

出口压力1000 mbar/760 Torr

推荐的后备泵GXS250，GXS400，E2M175，E2M275

电源供给 

50Hz220-240V/380-415V

60Hz230V/460V

马达功率 

碳氢化合物11kW/15hp

PFPE11kW/15hp

ATEX11kW

防爆型15hp

环境温度范围 

操作5 至 40°C/40 至 104°F

存储-10 至 80°C/14 至 176°F

操作湿度90% RH

推荐的冷却水流量（入口温度 20°C）*250lh-1/1.1 gal min-1

推荐的冷却水供应压力*2-6 bar

冷却水接头*3/8 英寸 BSP 阳螺纹

推荐用油 

标准型Ultragrade 20

PFPE 版本Fomblin? YVAC 16/6

油容量 

齿轮箱3.5 升

联结器箱6.5 升

轴杆封口储油器1.5 升

重量**401 kg/882 lb