测量前，首先确保待测表面干净无污染。一、表面阻抗：（Surface Resistivity） 1、平行探头阻抗测量法（Parallel Probe Resistivity Method） 平行探头阻抗测量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993标准的测量方法，这是一种快速的测量平面均匀材料电阻值的方法。这种方法也适合于多层材料的测量，但是在阻抗值报告中必须注明测量时的温度和湿度条件。 A、将表放在待测量的物体表面。 B、将开关调到所需的电压位置（10伏或100伏） C、以大约5磅的压力持续按下测量按钮，此时LCD屏会显示出测量的表面阻抗，温度和相对湿度值，整个测量过程大约为十五秒种。