日本电子热场发射扫描电镜JSM-7001F（Thermal Field Emission SEM）是能够满足与高分辨率和易用性同样的分析应用需求的理想平台。JSM-7001F具有大型、5轴、全对中马达驱动自动化样品台,还有单动作样品更换气锁、它的小束口压直径，即使在大电流和低电压时，也具有适用于EDS、WDS、EBSP和CL的理想结构的扩充性。样品室可处理直径为200mm的样品。
计算机接口是新的Windows® XP系统，操作简单，具有快速简单地切换操作模式的功能键。多可同时查看包括混合信号的四幅实时图像，单次扫描就可以记录并马上存储全部的四幅图像。
JSM-7001F扫描电子显微镜还支持与EDS、WDS、电子束光刻系统和图像数据库的整体化。标准的样品台自动化由计算机控制5轴：X、Y、Z、倾斜和对中自转。

低真空操作
JSM-7001FLV场发射扫描电子显微镜具有高分辨率性能，可以在中至高电压千伏（kV）和更高的束流下对非导电样品进行成像。因此无需在样品上镀金属膜或碳膜以供导电，即可施用EDS、背散射成像、EBSD等分析技术。这在以下情况中特别有用: 样品不能修改时，尚需后续测试时，或尚需返回产品线时。

低真空模式规格
样品室压力：50 Pa
分辨率：3.0nm（30kV）(BEI)
枪室压力：5 x 10-7 Pa或更小
采用的气体：干燥氮气