产品介绍
激光修复仪
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发布日期：2018/2/25 14:15:51
更新日期：2023/2/6 10:15:19
详细内容
| LCVD激光修复机 | |||||
| 型号 | LCVD-G6 | LCVD-G8.5 | |||
| 外形 | 2,850mm(宽)x2,500mm(长)x2,500 mm(高) | 4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高) | |||
| 重量 | 约7500公斤 | 约10500公斤 | |||
| 电力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max | |||
| 可修复产品尺寸 | 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
| 修复能力 | 沉积材质 | W,Cr,Mo,Al | 激光特性 | 激光系统 | DPSS激光切割系统 |
| 沉积线路速度 | 5~10um/s(厚度5000 Å) | CW激光沉积系统 | |||
| 单处缺陷修复时长 | 定位后，修复单处缺陷时间在5s左右 | 能量调节精度 | 0-1000 steps | ||
| 工艺参数 | 软件可以添加任意组工艺参数 | 0-100% | |||
| Cutting宽度 | 2um到50um可调 | Slit 窗口调节大小 | 0~2.4mm | ||
| 沉积宽度 | 3um到30um可调 | Slit 窗口控制精度 | 1um | ||
| 沉积边缘精度 | +-0.5um | 激光能量校准方式 | 自动校准 | ||
| 沉积厚度 | 2000 Å ~15000Å可调 | 校准时间 | 3mins | ||
| 沉积线路的电阻值 | <65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å) | 激光能量校准精度 | 优于2% | ||
| 沉积稳定性 | 1.清洗机清洗次数>10 times | 激光波长 | Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm | ||
| 2.棉签蘸丙酮擦拭>500次 | CVD CW laser :NUV/UV | ||||
| 3.强酸碱测试>1H | 脉宽 | < 12 ns | |||
| 3.毛刷擦拭>1H | 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在标准mask上测试) | |||
| 4.超声波1MHZ>1H | 扫描面能量均匀性 | 优于5% IR | |||
| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 | 激光寿命 | Cut Laser:10亿次激发 | |
| X-Y-Z运动行程 | LVCD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) | CVD CW laser: 8000小时 | |||
| LVCD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | 修复工作模式 | Scan扫描式和 Step模式 | |||
| X-Y运动速度 | 0~400mm/s可调 | 扫描路径 | 可任意定义路径 | ||
| 精度(小移动量) | 0.1um | 控制 | 工作模式 | 自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复 | |
| Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 | ||||
| 精度(小移动量) | 0.1um | 上下片 | 机械手或者流水线 | ||
| 重复定位精度 | +-5um | CIM系统 | 有 | ||
| 修复对位精度 | 0.1um | 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 | ||
| 光学特性 | 光路系统倍率： | 50X~ 1000X | |||
| 5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM | |||
| 光学分辨率 | 0.7um | ||||
| 物镜切换速度 | 0.2~0.7s | 通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
| 切换镜头偏差 | 小于3um | 安全 | 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 | ||
| 聚焦 | 激光自动聚焦 | 紧急开关EMO | |||
| 相机 | 200万像素 | 限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁 | |||
| 照明 | 平台有下光源，并且能够上下光源切换，屏蔽罩内安装照明，照度达到1000lux以上。 | Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) | |||
| 应用方向 | TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复 | ||||
| 特点： | |||||
| 稳定的修复结果 | 功能丰富的软件 | ||||
| 超高的修复精度 | 可以编辑修复形状 | ||||
| 0.1um精度的直线电机平台 | 自动AOI定位 | ||||
| 极小的损伤 | 可做多工位设计 | ||||
| 1um的激光精度 | 自动上下片 | ||||
深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)致力半导体技术的共享事业，专注于促进中国半导体行业的快速成长，目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前设有先进半导体设备制造工厂和半导体仪器代理营销事业部。
公司经营理念：
坚持高度职业道德
1) 对客户我们说真话并且努力实现对客户的承诺。
2) 对供应商我们以客观、公正的态度进行挑选及合作。
3) 在公司内部，我们绝不容许贪污；不容许在公司内有派系产生；也不容许公司政治的形成。
放眼世界市场，国际化经营
我们的市场定位是在全球市场中建立竞争力。
注意长期策略，追求永续经营
我们注重企业永续经营，做长期战略规划，并认真的执行。
与供应商和客户分享我们的成功
我们视供应商何客户的竞争力为SEMISHARE的竞争力，供应商和客户的成功为SEMISHARE的成功，我们努力塑造良性循环的合作模式。
品质是我们工作与服务的原则
在SEMISHARE，品质是每一个员工的责任，我们本着追求卓越、精益求精的态度，认真的把每一件事、每一件任务做到，并且不断改进，力求更上一层楼。
鼓励在各方面的学习，确保高度企业活力
SEMISHARE需要不断地学习进步，常保公司充满蓬勃朝气与活力，随时秉持积极进取、高效率的处事态度，来因应瞬息万变的产业市场特性。
营造具挑战性、有乐趣的工作环境
我们要齐力塑造并维持一个具挑战性，有乐趣的环境，培养并吸引志同道合而且优秀的人才。
建立开放型管理模式
我们要营造乐于沟通的环境，以建立开放型管理模式。同事间互相以诚信、坦率、合作相待。同事乐于接受意见，也乐于改进自己。同时，更将透过集思广益的方法接受各方看法，而在做成决定后，就团结一致、不分你我、集中力量朝共同目标戮力以赴。
努力回馈社会
我们深刻的认识SEMISHARE的成长也得力于社会及产业环境的配合，我们须要不断地尽能力回馈社会，做一个良好的企业公民。
SEMISHARE全体同事需要随时信守本公司的经营理念，并落实于工作中。
