腾旋公司的半导体行业用旋转接头又叫水/气滑环接头，在半导体工业、化学机械抛光机CMP、晶圆等制造域广泛应用；用于输送研磨液、水、冷却液、研磨残渣液、压缩空气等流体。采用特种材质的机械密封方案，具有密封性好、寿命长、扭矩低、发热量低、耐粉尘残渣等特点，确保客户主机可靠性高，减少检修频次。