项目                            数据

基本规格  1几台封面          聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）

       2机台主机强度结构     整体骨架表面喷涂处理

       3机台视窗          透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）

机台特点 1全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性

      2腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性

      3可根据需要定时补充槽体药液和置换药液

      4QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定

      5更全面的全自动烘干系统

      6多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储

      7管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杆导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，       维护便利，期货库存品工厂内均建立安全存量

      8作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全

      9客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要

机械臂装置：1Robot的工艺路径种类   N种（设备出厂前载入PLC内）

        2机械臂走向        ‘右进左出’或‘左进右出’

制程控制   PLC控制方式

设备制造：江苏英斯特半导体科技有限公司