干涉显微镜配各种附件，还能测量粒状，加工纹路混乱的表面，低反 射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。
仪器测量表面不平深度范围为1～0.03微米，用测微目镜和照相方法来评定▽10～▽14光洁度的表面。
本仪器适用于厂矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校，科学研究等单位。