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北京中芯云科仪器有限公司

产品介绍

GDWT-480型全自动型高低温真空探针台

价 格:¥电议

型 号:

产品完善度:

生产地:其他访问量:0次

发布日期:2022/3/21 9:56:57

更新日期:2024/4/26 15:40:02

详细内容

 GDWT-480型全自动型高低温真空探针台

 

关键词:高低温探针台,半导体,光电,吉时利

 

 

GDWT-480型全自动型高低温真空探针台主要应用于I-V/C-V,PIV测试,传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电子样品测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本可以配合Keithley,Tektronix等国内外各种源表对材料进行测试,可以做材料的介电,铁电等测试,是目高等院校和研究所及材料生产单位的重要辅助设备。

  GDWT-480型自动型真空高低温探针台该探针台尺寸高达59x59MM,不锈钢台面设计可以达到高温350℃。在真空方面采用真空腔体设计具备进气口和抽真空接口三轴移动探针臂保证X/Y/Z三个方向均可在真空环境下精密移位调节,用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测.

主要特点:

1、温度可以从-190-350

2、探针不需要打算开观察窗口,可以通过X/Y/Z三轴移动调节探针,

3、可以配真空,气氛等多种功能。

4、三轴调节范围:其中X方向0-28mm;y方向调节范围:0-18mm;z方向调节范围:0-18mm;

主要技术参数:

 

真空腔体

内腔尺寸

φ160x90mm标准 

观察窗尺寸

Φ70mm 

样品台尺寸

Φ60mm

观察窗热台间距

74mm

加热台温度

-190-350℃

加热台温控精度

±1℃

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-5Pa

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ  介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针  

探针尖

10μm其他多种可选0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米

制冷

液氮/液氦/制冷机

探针移动平台

X-Y-Z移动行程

30mm*25mm *25mm    

结构

真空波纹管结构,精密三轴控制探针

精度

≤0.01mm 

漏电精度

10pA,100fA,10fA

接头类型

BNC/三轴/鳄鱼夹/香蕉头/接线端子

频率支持

DC-67GHZ

针尖直径

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

电子显微镜

显微镜类别

物镜(可以选配)

物镜倍数

0.6-5.0(可以根据客户要求进行选配)

工作间距

85mm

相机

sony 高清

像素

200万/500万/1200万

图像接口

VGA

LED可调光源

显示屏

9

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm

可选附件

光学平台

 

屏蔽箱

 

光电测试配件

 

高压测试配件

 

激光系统

 

气敏测试系统

 

 

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