IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是具功能美的紧凑型直线电机工作台。工作台的导向部采用实现了长期免维护的C-Lube自润滑直线导轨L，有助于减少维护工时。动子采用高性能钕磁石，虽然是小型，但大推力达到了36N，可实现高速、高响应性定位。而且机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和组装装置等设备的紧凑型定位机构。

 

几个点;

1：高节拍定位

采用直线电机驱动，构造无可比拟的捨取/定位单元，两个轴上均配置有光学式线性编码器，可实现精密的高节拍定位。

2：超薄型，省空间

通过使X轴的可动工作台与Z轴的基座体化，实现了厚度仅18mm的超薄化，可在宽度100mm的空间内并排设置4台，有助于节省空间和提高效率。

3：运行监视功能

可使用驱动器的监视功能，通过计算机进行轨道的验证。