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IKO纳米直线电机在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是磁动方式的直线电机工作台。工作台的导向部采用小型直线导轨域评价颇高的IKO交叉滚子直线导轨，通过搭配直线电机和高分解能线性编码器，实现了高精度定位。产品详情页请点击这里 通过采用高性能钕磁石，可获得大推力，虽然是小型，也可实现高速、高响应性定位。而且通过采用没有电缆的划时代驱动方式，机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和电子零件组装装置等设备的紧凑型定位机构。

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以下几点：

1：高推力，高节拍

通过将X轴和Z轴的电机配置于平面上，利用连杆机构动可动工作台的方式，同时实现了直线电机的高推力及可动部的轻量化，大幅缩短了动作周期。

2：高分解能，高响应性

通过在两个轴上均配置光学式线性编码器以进行全闭环控制，实现了高分解能和高响应性。

3：风冷

采用将发热线圈集中在定子上的构造，方便冷却和向安装底座散热，通过指定风冷选装件，可进步缩短动作周期。

4：无可动部电线

虽然是多轴单元，但可动部采用无电线的动磁铁方式，因此配线处理简便，可实现高洁净度。