实现了多种动作的定位模块

该定位模块以精密定位工作台TU为基础，组合使用高刚性型交叉滚子轴承和直线导轨，为校准工作台开发而成。

无需调整高度

高度尺寸容许公差控制在±10μm的高精度范围内。 无需调整各校准模块AM的高度，即可构建校准工作台。

可自由设计符合用途的工作台

可将校准模块AM与各种工作台和基座组合使用，自由设计符合用途的校准工作台。

 

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产品AM介绍：

IKO校准模組AM组合了精密定位工作台TU、高刚性型交叉滚子轴承和直线导轨E，是为校准工作台而开发的定位模块。高度尺寸的容许公差控制在±10μm的高精度范围内，无需调整各校准模块的高度即可构建校准工作台IKO。校准模块AM组合了精密定位工作台TU、高刚性型交叉滚子轴承和直线导轨E，是为校准工作台而开发的定位模块。高度尺寸的容许公差控制在±10μm的高精度范围内，无需调整各校准模块的高度即可构建校准工作台。
注半导体行业，真空环境   洁净环境等