金离子溅射仪ETD-200小型 特点:

靶（上部电极）：材料：金，

直径：64mm，厚度：0.12mm(大约)

真空室：直径：160mm，高：120mm

样品台（下部电极）：溅射面积：直径：64mm，放置样品数量：16个

离子电流表：电流：100mA

定时器：长时间：900S

电压： -1600V

电源开关

机械泵: 2升/每秒

可选：真空控制针阀

靶材可按用户要求加工制作

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