产品介绍
划片机
价 格：￥电议
型 号：J51系列
产品完善度：
生产地：其他访问量：717次
发布日期：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
详细内容
| 硅片尺寸 | Ø152.4mm(6") | a进给0.1-70mm/s | Y轴行程 | 160mm | Z轴行程 | 19mm | 主轴转速10000-40000r/min | ||
| X轴行程 | 200mm | 回程70mm/s | Y轴小步进距离 | 0.002mm | 以Ø50mm刀 | 盘为准 | 通常30000/min 功率40W | |||
| X轴行程范围 | 20-160mm | b进给1-300mm/s | Y轴步进速度 | 30mm/s | Z轴小步距 | 0.002mm | CCD对准系统 | |||
| 切割速度 | (分两级) | 回程300mm/s | Y轴定位精度 | 0.008mm | θ轴旋转范围 | 900 ±30" | 尺寸(mm)906＊1020＊740 | |||
J51152/ZF划片机 | ||||||||||
| 晶片加工尺寸 | 155＊155＊5mm | Y轴小步距 | 0.002mm | Z轴行程 8mm | θ轴分辨率 0.0050 | ||||
| 刀片尺寸 | Ø50-Ø60mm | Y轴定位精度 | ±0.003mm | Z轴进给速度 7mm/sec | θ轴旋转速度 900/2.2sec | |||||
| Y轴行程 | 155mm | X轴行程 | 250mm | θ轴旋转范围 0-2250 | 主轴转速范围 3000-40000r/min | |||||
| Y轴进给速度 | 50mm/sec | X轴进给速度 | 0.1-200mm/sec | θ轴显示增量 10 | 主轴功率 1.5KW | |||||
J51150-2/ZF划片机 | ||||||||||
| 芯片尺寸 | Ø152.4mm(6") | Y轴行程 | 160mm | 递增间距 | 0.005mm | θ轴步进间距 | 0.002250 小 | ||
| X轴行程 | 160mm(6.3") | Y轴步进距离 | 0.002-99.998mm | 微动间距 | 0.0025mm | θ轴旋转速度 | 900/3.7sec | |||
| X轴行程范围 | 20-153mm | Y轴步进速度 | 30mm/s | 升降 | 速度15mm/s | 主轴直接驱动 | 空气轴承 | |||
| X轴切割速度 | 0.3-300mm/s | Z轴行程 | 20mm | θ轴旋转 | 范围 0-900 | 主轴速度 | 10000-40000r/min | |||
| X轴回程速度 | 300mm | Z轴升降范围mm | 0.005-19.995 | θ轴小 | 角度± 10 | 功率1.25kw | 通常30000r/min | |||
J51150-1/ZF划片机 | ||||||||||
| 手动金刚刀划片机 |
| 热板炉 | 温度均匀性 | ||||||
| 工作台纵横进刀行程: | 110mm | 接触式 | ±1℃(Φ200mm以内区域) | |||||||
| 工作台面的直径: | 101.6mm（4"） | 热板尺寸 | Φ220mm | 手动开关炉盖及放取硅片 | ||||||
| 工作台面的吸附直径: | 25.4～101.6mm | 温度范围 | 60℃～300℃ | 电子定时 | 1分钟～99小时99分钟 | |||||
| 外形尺寸: | 550mm×400mm | 温度150℃以上勿合盖 | 功率 | 400W | ||||||
J51100-1/ZF划片机 | ||||||||||
| 薄片尺寸 | Ф75mm | 划刀行程 | 60mm,80mm | 划线精度 | 累积误差±0.02mm/75mm | 环境条件 | |||
| 划线间距 | 0～9.99mm | 划线速度 15,20,25,27条线/min | 显微镜 | 放大20倍 | 室温35℃以下 | |||||
| 适应划线间距 | 0.20～9.99mm | 弹簧加压式 压力10～150g(可调) | 电源 | AC 220V | 湿度65%以下 | |||||
| 台面回转角度 | 90° ±1"30" | 装刀角度 50°～90°(每10°刻度) | 外形尺寸 | 500mm×480mm×470mm | ||||||
J5175-1/ZF划片机 | ||||||||||
| 主轴刀架装刀数量≤13把 | 定位精度90° ±1" | Y轴行程300mm Y轴分辨率0.002mm | Z轴行程100mm | ||||||
| 刀架径向机械精度≤0.05mm | 台面尺寸(mm)240＊190 | Y轴精度0.012mm | Z轴分辨率0.001mm | |||||||
| 刀架轴向机械精度≤0.05mm | X轴行程200mm | X分辨率0.001mm | Y轴可重复性0.009mm | Z轴精度0.008mm | ||||||
| 主轴调速范围0-3000r/min | X轴精度0.003mm | X重复性0.002mm | Y轴速度2.5-2540mm/min | Z轴可重复性0.005mm | ||||||
J50300-1/ZF划片机 | 工作台旋转360 每94°定位 | X轴速度2.5-762mm/min | Y轴直线运动偏差()0.008mm | Z轴速度0-1270mm/min | ||||||
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