产品介绍
6英寸划片机
价 格：￥电议
型 号：J51152/ZF
产品完善度：
生产地：其他访问量：1119次
发布日期：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
详细内容
划片机 切割机 分切机
J51152/ZF6英寸划片机主要技术规格：
硅片加工尺寸：Ø152.4mm (6")
x轴 (1)行程：200mm (2)工作行程范围：20~160mm (3)切割速度分两级： a)进给：0.1~70mm/s 回程：70mm/s b)进给：1~300mm/s 回程：300mm/s
y轴 (1)行程: 160mm (2)小步进距离:0.002mm (3)步进距离:30mm/s (4)定位精度:0.003mm
z轴 (1)行程19mm(以Ø 50刀盘为准) (2)小步矩0.002mm
θ轴：手动旋转：90˚±30"（可微调）
主轴转速范围：10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD对准系统设备尺寸mm(宽x深x高)：约906x1020x740
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