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南京覃思科技有限公司

产品介绍

磁控管冷溅射镀膜仪

价 格:¥请电询025-85432178

型 号:K550X/K500X

产品完善度:

生产地:其他访问量:338次

发布日期:2009/11/2 0:00:00

更新日期:1900/1/1 0:00:00

详细内容

K550X具有旋转样品台,它也可倾斜,非常适合各种样品使用。预选择参数及全自动控制使得精确镀层及重复厚度沉积更为方便。

磁电管靶使用低电压,可提高效率,K550X能得到非常精细的颗粒,由于是冷溅射,所以无需冷却靶面或样品台。

腔室直径为165 mm(6英寸),非常方便装载及移走样品。

仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶(或用户选择),提供适合的性能价格比。可选靶材包括金/钯,铂/钯和铂。

功能集中在仪器面板上及即插即用电子学设计,的“up-time”,这些用户友好设计满足了不同学科的用户需求。

溅射参数可被预先设置,包括气体放气针阀,此阀为电磁阀,一旦设置,它就不需要再调节。溅射头互锁,系统可容易选配K250镀碳附件。本仪器为全自动操作,可控制独立的真空泵。

特点
全自动控制
低电压溅射
高分辨率精细涂层(金颗粒可达2 nm)
具有倾斜装置的特殊旋转台
均匀厚度沉积
(扫描电镜一般厚度为20nm 200)
165 mm(6英寸)腔室
可接膜厚监视器,实时监测镀覆层厚度
 
优点
易操作
无需冷却样品台
精确的再次涂层
适合各种样品
膜厚度重复性好
容易装载或卸载样品
可预设沉积厚度
 
K500X是K550X的手动版,区别在于它不带旋转样品台,手动操作。所有的其它特点和技术规格与K550X相同。

技术规格
仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H   重量:18公斤
工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H
安全钟罩:聚碳酸酯
靶:60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金作为标准靶面)
样品台:直径为60 mm,靶面距离40mm,具有倾斜
        装置的旋转台
真空范围:ATM-1x10-2 mbar
溅射电流:0-50mA
沉积速率:0-25nm/分
溅射定时: 0-4 分钟
预设置针阀:控制氩
电源:230 伏 50Hz
(10 amp max. including Pump)

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