产品介绍
微观四点探针
价 格：￥电议
型 号：CIPTech
产品完善度：
生产地：其他访问量：454次
发布日期：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
详细内容
SCM
◆ 材料表面 Nano微区范围的『阻抗』分析
＊ SPM-CIPTech
◆ IBM & Infineon技术『Current In-Plane Tunneling』
◆ MRAM、读写磁头的 MTJ 『磁阻』和『隧阻』
＊ micro RSP
◆ 超浅结『Ultra Shallow Junction』 『阻抗』分析
＊ M4PP SEM Module
◆ SEM 在线微区 Sheet Resistance 点测模块
◆ 配合 FIB 进行在线 Sheet Resistance 分析
＊ MFPP & M4PP：四点或多点奈米探针
微观四点探针 M4PP ，比传统的四点探针的间距小三个数量级，利用硅微加工技术加工而成。 CAPRES 可以提供间距为 5, 10, 15, 20, 25 和 30 微米的探针。
这种探针技术适用于材料微观电性能的表征，是半导体和薄膜工业质量控制的理想工具。它们也可被用于研究，例如对多晶材料中单晶粒或单畴的电导率进行成像。或者该技术可用于在超高真空 UHV 下，清洁硅片由于表面重构造成的微观电子输送的改变。这项技术是 MIC 和日本东京大学物理系合作的部份结果。
CAPRES 现正致力于为客户的特殊要求定制探针，可以制作间距小至 1.5 微米的探针。
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