SPEM 是一项独特的分析工具，它结合了扫描探针技术 (SPM) 和成像椭偏技术 。成像椭偏技术能很方便地可视化观察薄膜以及表面结构，而利用 SPM 技术可以把某些关注的点方大观察其纳米尺度细节。我们的 SPEM 整合了这两者技术，通过智能的试样处理，就可以分别进行观察，而不需要进行繁琐的试样位置调整。