技术参数
1.微聚焦X光管功率40kV, 1.0mA
2.试样上X光聚焦点直径300um,100um,40um
3.10x黑白，100x(200x)彩色CCD摄像头
4.样品室尺寸330x250x330mm
5.自动样品台行程100x100x100mm
主要特点 
 1.样品范围宽:液体,磁性,绝缘体,少量粉末等。
2.样品尺寸大：块状样品可达250x200x90mm。
3.焦点小，可进行点、线、面的分布分析。
4.能量利用率高，X光管功率小，维护简便。
5.无损检测，使用方便，自动化程度高。 
仪器介绍
 EAGLE III聚焦型扫描X-射线荧光能谱仪也称荧光探针，采用聚焦X射线照射，光路系统采用正置式，可在大气压力或低真空环境下检测样品。该仪器可进行视频图象采集和图象拼接，微区及整体成分的定性定量分析，以及线、面元素的分布分析，检测极限为ppm级。