技术参数 

1.采用AR离子激光光源，分辨率可达0.15微米
2.聚焦小步进/行程：0.01微米/10毫米
3.采用反射激光方式进行自动聚焦
4.激光安全等级：CLASS 2
5.图像感应装置：光电倍增管 
主要特点

1.二维形态图像获取（2-D Morphologic）
2.三维形态图像获取（3-D Morphologic）
3.三维轮廓与地形图像（3-D Profile,3-D Topography）
4.可进行亚微米级线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚测量
5.非破坏性，非接触，无须制样，无须真空，快速直观