INCA Wave X射线波谱仪有高分辨率，高灵敏度，高精度，高准确度和操作简便的特点，是显微分析大家族中不可或缺的技术手段。采用高精度的弯曲晶体分光谱仪系统，由4块或6块晶体覆盖从B到U的全部元素分析，其探测极限可达几个PPM。

应用：
波长色散显微分析仪(WDS) 能提供高质量的关于扫描电镜（SEM）中样品化学成分的信息。其谱图分辨率和检测极限显著优于能量色散显微分析仪（EDS）. WDS尤其适合特别需要分辨相邻X射线谱峰或检测痕量元素的场合。它同时提供了扫描电镜（SEM）条件下精确的定量分析结果。