InfiniteFocus 自动变焦三维表面测量仪是微纳米级质量保证的光学三维测量仪，它的操作原理是光学系统的小景深与垂直扫描相结合，利用焦距变化提供形貌和真实颜色信息。新颖独特的运算法则把它重建成包含精确形貌信息的独立的3D数据集，可追踪的校准标准可以验证测量结果。

特点
测量非常陡峭的斜面
标准真实的颜色信息
测量非常粗糙的表面
测量强反射性能的表面


  

     


软件控制的测量和分析
形貌测量与分析
面积测量与分析
形状测量与分析
体积测量与分析
二维图像分析
  

部分技术参数：
垂直分辨率：10nm
水平光学分辨率：400nm
水平取样距离：90nm
扫描高度：22mm
扫描面积：10000mm2

应用
汽车工业
电子工业
工具与模具生产
医疗设备研发
摩擦与腐蚀
造纸印刷业等



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