本装置对采用蒸镀、离子溅射法等方式制作的光学·电子·电磁用各种零件薄膜的机械特性、固体表面特性进行定量评估。 ●方式： 将接触针强制性地左右振动，同时将 被检测对象向垂直方向继续移动,以 增加接触压力。它采用的是实时在线 接触压力和接触针信号的测试方式。