灰化其实是一个非常简单的过程，但由于传统马弗炉采用的是加热电源，往往需要花费一段很长的时间才能完成，因而时间和能源成本太高。传统马弗炉的升温过程非常缓慢，且不稳定，而且在使用过程中排放的气体会污染工作环境。

利用微波的“高热”和气流中高浓度的氧气结合的方法使得样品的灰化时间由传统的“小时”变为“分钟”，大大提高了工作效率。同时，紧靠碳化硅的温度控制系统不受气流影响，可显示炉温，控制微波的输出功率和维持预设的灰化温度。