设备名称：图形检查仪
设备性能：检测LTCC湿膜/干膜导体图形、陶瓷基板湿膜/干膜导体图形、LTCC通孔图形的完整性和一致性。
 

主要规格参数：
 分辨率：5µm
 检查容差：256级灰度容差，（允许不同区域有不同容差）
 检查尺寸：≥250mm x 250mm
 检查类型：自动
 自动产生检查报告
 检查速度：≤10s（150mm x 150mm）
 工作台精度：+/- 5µm
 工作台重复精度：+/- 5µm
 对位：X/Y/θ自动对位