真空泵是提高过滤效率，加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染，一般均使用无油隔（膜式）真空泵。此类泵型的真空压力一般在0.08Mpa左右（单级），而提高过滤速度关键是单位时间内排气量，即真空泵的流量指标。在过滤量大，介质粘度高，颗粒堵塞滤膜场合尤显突出。
真空泵的使用寿命，除取决于正确的使用方法外（如减少无为的连续开机防止溶剂抽入泵体等）主要还在于电机功率合理和真空膜的设计形式及抗疲劳性。