• 独立particle sensors 连续量测方式。
• 单机多点(32 ports)连续轮流量测方式。
• 适用於无尘室class 1 to 100k, mini-environment 。
• 可结合温湿度计, 风速计, 差压计, ESD sensor等 类比式讯号感测仪器。