产品介绍
表面微粒子計數器(Only China)
价 格：￥电议
型 号：Q3+ Surface Particle Counter
产品完善度：
生产地：其他访问量：221次
发布日期：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
详细内容
•QIII+ SPD 表面粒子侦测机提供 0.3um sensitivity。
•应用于设备机台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion )
chamber, load lock, slit valve, SMIF, HOUP 等等 PM
后的验证及 Parts cleaning 洁净度验证可降低产品
Defect 和 Test Wafer 的使用量。
•量测：0.3,0.5μm, 所需求的范围
•適合客戶群: 半導體黃光; 蝕刻製程; 零件清洗商;
設備清潔維護; 光電廠; 玻璃基板廠..
•Capture filter 能收集 particles 经由 EDX 或 FTIR
分析 particle 成分。
•应用于设备机台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion )
chamber, load lock, slit valve, SMIF, HOUP 等等 PM
后的验证及 Parts cleaning 洁净度验证可降低产品
Defect 和 Test Wafer 的使用量。
•量测：0.3,0.5μm, 所需求的范围
•適合客戶群: 半導體黃光; 蝕刻製程; 零件清洗商;
設備清潔維護; 光電廠; 玻璃基板廠..
•Capture filter 能收集 particles 经由 EDX 或 FTIR
分析 particle 成分。
