功能和应用范围

透射方式：

对透明薄膜样品，照明光源经物镜聚焦在样品表面，光探针在薄膜的另一面表面扫描，由探针接收样品表面散射光，获得近场图像。采用长焦距物镜使物镜焦点能够到达并照明厚样品的表面。物镜在三维空间可调。

反射方式：

对不透明样品可以改变仪器光路和探测器位置实现反射式测量。需另外增加接收探头。

提供windows系统下的应用程序。可以同时获取光学图像和形貌图像的，提供一至两个附加的采样通道和相应的图像显示存储功能。提供图像数据与标准图像格式的转换。提供伪3维图像显示，FFT滤波、平面校正、曲面校正功能。

技术指标

1. x－y线性扫描范围20um×20um；可扩展到30 um×30 um。
2. 扫描台在z方向的线性移动范围 3um，可扩展；
3. 光学分辨率: 50nm－100nm，取决于探针质量；
4. 光源波长: 530nm，650nm, 980nm可选；
5. 样品尺寸：小于 20mm×20mm；
6. 样品台水平移动范围 6mm×6mm；
7. 剪切力分辨率z: 1nm；x/y：10nm
8. z步进距离：小于200nm。