工作原理：当探针尖端靠近表面时,由于表面张力的作用,将水分子将探针尖端与表面连接起来.当在探针与表面之间施加外加电压时,使探针尖端接触部位的金属薄膜发生阳极氧化,同时在探针表面水分子发生还原反应,探针与表面之间产生电流。加工完成后可在线测量区域深度、坡度、粗糙度等。适用于半导体制造、薄膜加工、气敏传感器研究及生物工程实验等多种领域。