产品介绍
河北EM01-PV多入射角激光椭偏仪
价 格:¥电议
型 号:EM01-PV多入射角激光椭偏仪
产品完善度:
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发布日期:2011/6/28 10:13:09
更新日期:2012/1/11 13:58:37
详细内容
北京冠普佳科技主营:显微镜、生物显微镜、体视显微镜、倒置显微镜、荧光显微镜、偏光显微镜、数码显微镜、金相显微镜、工业显微镜等 EM01-PV多入射角激光椭偏仪 | |||||||||||||||||||||||||
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EM01-PV-III特点: 1.一体化样品台技术,兼容测量单晶和多晶太阳能电池样品 EM01-PV-III应用领域:
EM01-PV-III技术指标: 激光波长 632.8nm (He-Ne laser) 膜层厚度精度 0.01nm (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) 0.05nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) 折射率精度 1x10-4 (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) 5x10-4 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) 光学结构 PSCA 激光光束直径 <1mm 入射角度 40°-90°可选,步进5° 样品方位调整 三维平移调节:±12.5mm(X-Y-Z三轴) 二维俯仰调节:±4° 光学自准直系统对准 样品台尺寸 Φ170mm 单次测量时间 0.2s 推荐测量范围 0-2000nm 外形尺寸(长x宽x高) 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) 仪器重量(净重) 25Kg |