技术参数

X1轴

测量范围: 50mm

分辨率: 0.2μm

测量方法:反射型光栅尺

驱动速度: 0.2, 1mm/s和手动

测量速度: 0.2, 0.5mm/s

测量方向:向后

直线度: 3.5μm/50mm , *当X轴在水平方向上

指示精度:±（3.5+2L/100）μm * L为驱动长度（mm）

Z1轴（检测器）

测量范围: 25mm

分辨率: 0.4μm

测量方法:弧形编码器

指示精度:±（3.5+I4HI/25）μm （20°C时） *H为水平位置上的测量高度（mm）

探针上／下运作:弧形运动

探针方向:向下

测力: 10 - 30mN

跟踪角度:向上：77°、向下：87°（根据表面粗糙度，使用标准单切面探针）

探针针尖半径: 25μm、硬质合金针尖

重量: 5kg

电源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz

能耗: 150W （仅限主机）