平行光光学单元（MSUseries）

用与检测反光界面的划痕、破损和污垢

　这种平行光光学单元是为检测反光表面如CD和晶片上的细小裂

纹、凹痕和污损而设计的。

　新技术：平行光光学单元；从光源发射出的光线通常是以放射方

式向外辐射的。象太阳光那样，总是从同样的角度到达物体表面而

不散射，这种光称为平行光。MSU系列就是运用这种平行光的原理

开发的光学单元。

　　用于表面有光泽的较小的被测物体（MSU-10）：这种光线能清

晰地摄取CD表面的划痕、引线框上的刻字和二唯码的图象。这些用

普通的同轴光是无法看到的。