1、在氮气节能洁净过滤订制机的试用过程中，对其内部的洁净度做测量。必须满足颗粒≦10ea＠0.3um　＆　≦20ea＠0.2um。
　　2、对温湿度作24小时不间断的监控。若氮气节能洁净过滤订制机在完全关闭的情况下，湿度不能有超过＋／-5％RH的波动。
　　3、氮气节能洁净过滤订制机内湿度从60％RH降低到15％RH的时间不能超过30分钟。
　　4、氮气节能洁净过滤订制机内放置的硅片的TDH试验必须通过。即经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生（返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea　（包括0.2um及0.3um））。
　　5、氮气节能洁净过滤订制机内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv。
　　6、氮气节能洁净过滤订制机内不能有氮气的死角，使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。