二次元

1、 金属尺寸（mm）：330*170mm 
2、 玻璃台尺寸（mm）：250*120mm 
3、 运动行程（mm）：200*100
4、 仪器重量（kg）：90
5、 外形尺寸（mm）：560*580*780mm 
6、 Z轴升降行程（mm）：100
7、 工作距离（mm）：96mm

8、  X Y Z数显解析度（mm）：0.001（选配0.5um）
9、X、Y轴线性精度：（3+L/200）µm，Z轴重复精度5um ±2um 3. 影象系统

10、 摄象机：:彩色1/3″CCD

11、 变焦物镜倍率：0.7-4.5X

12、 电视总倍率：20-120X

13、 物方视场（mm）：14-2.2mm

14、 表面照明：LED环形超亮冷光源（使用寿命长，不会引起被测物件变形）

15、 轮廓照明：LED超亮圆形冷光源（使用寿命长，不会引起被测物件变形）