典型的系统配置包括：

• 放大倍数为5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物镜
• 1/3英寸CCD相机; 0.5倍耦合镜
• 自动Z轴，30毫米驱动范围
• 自动XY载物台，200毫米x 200毫米驱动范围
• 具有3GB内存和320GB硬盘的电脑，24英寸显示器，以及泽塔三维功能软件

三维表面浏览 :

倾斜，旋转，缩放，滤波
体积计算

二维表面分析 : 

特征尺寸，直径，面积
图案间距，标准偏差
表面粗糙度
区域平均台阶高度

轮廓测量（轮廓仪）
台阶高度（台阶仪）
粗糙度参数（粗糙度测量）
多横截面分析
平均值测量标尺
点对点测量标记
倾斜度和表面波度补偿
阵列式采样序列
自动数据与图像输出用于生产线SPC

 

应用：精密测量

 

三维成像 样品的真实颜色和形状如何？ 获取一幅测试样品表面的全真彩色三维图像往往是解决问题的步，它对做决定具有参考价值。	尺寸 宽度与高度有多少？ 对在显微镜下才看得到的零件，只要在我们的仪器上做一次扫描即可准确地测出诸如横向尺寸、台阶高度、斜面倾角等参数。	三维精密测量 表面状况如何？ 我们依据数以百万计的数据点计算出来的二维和三维粗糙度参数，当然会比其它仪器用只扫一条线或只扫一个狭小视场所获得的数据来得精确。	薄膜厚度检测 表面上还有别的东西吗？ 单层或多层薄膜可用我们的分光光度计（选项）来测量。这样，用户可以同时对表面形貌和长在表面上的薄膜进行研究。

显微镜 三维显微镜 测量显微镜 光学显微镜 三维测量显微镜 三维精密测量 薄膜厚度检测 精密台阶检测 三维成像显微镜 轮廓仪 台阶仪